VOC檢測儀使用了一個紫外燈（UV）光源將有機物分子電離成可被檢測器檢測到的正負離子（離子化）。檢測器捕捉到離子化了的氣體的正負電荷幵將其轉化為電流信號實現氣體濃度的測量。當待測氣體吸收高能量的紫外光時，氣體分子受紫外光的激發暫時失去電子成為帶正電荷的離子。氣體離子在檢測器的電極上被檢測后，很快會電子結合重新組成原來的氣體和蒸汽分子。

VOC檢測儀通常

使用的紫外燈（UV）有9.8eV、10.6eV、11.7eV3種。

所選擇的燈的能量越低，可能檢測的化合物種類就越少，但燈的能量越高，它所受到的物理限制也就越名。PID燈是由一個充滿低壓單一氣體或混合氣體(氧、氮氣、氫氣或氪氣)的玻璃泡構成。通過電流和輻射波使這些氣體激發產生紫外光，光束通過一個窗口射出。較高能量的燈(11.7eV和11.8eV)的窗口材料是由氟化鋰制成的，它很容易吸收水分和被燈自已發出的紫外光照射而衰變。因此，高能量燈的壽命比較短。在一一般操作下可以使用1或2個月。另外，盡管高能量燈發出的能量會使更多的物質離子化，但它產生的光通卻要比低能量燈少，這就意味著高能量燈的離子化電流比較低也容易產生漂移。通過選擇燈的能量也可能改變選擇性，比如，9.8eV燈的能量輸出已足夠于檢測苯(電離能量IP為9.24eV)，但對于很多其它物質的離子化就不足，也就是無法檢測到。9.8eV燈窗口壽命也較短，正常操作下可以持續6個月。10.6eV燈的窗口的壽命較長，在一~般操作下可以連續使用1~2年，同時，10.6eV燈的能量也足以檢測大多數的VOC，因此10.6eV燈的使用也就廣泛。”